作者cp2jp6 (大头)
看板NEMS
标题[问题] SU8-50 Develop
时间Fri Jun 12 14:36:48 2009
事情是这样的
之前将su8涂布於玻璃上
结构做的十分完整
可是当换了另一个case便完全不行了
想请教板上各位高手是如何做的呢??
----------------实验开始---------------
我们想利用su8-50做出高度100um宽度60um长度500um的凹槽(深宽比:?)
因此我们讲光阻涂布於Si Wafer上
也在涂布光阻前先涂布hmds
问题来了
经过软烤、曝光、显影後凹槽却一直无法吃穿...
之前也尝试过将wafer放入丙酮以超音波器先震荡个数分中後再放入显影液以超音波震荡
显影"40分钟"，虽然结构有吃穿但是仍然不漂亮
好...今天做了一次
一样直接泡入显影液以超音波震荡器震荡40分钟(我知道这时间对su8原厂参数来说已经
很扯了)
期间每隔五分钟以氮气吹乾...翻面
但是今天却仍然无法吃透
附上全部制程过程
希望高手能帮我看看哪里出错
制程:(塑胶光照)
1.wafer先以食人鱼清洗
2.涂布hmds-烤乾
3.涂布su8-50(500rpm-25s.1000rpm-35s)
4.软烤(加热平板)2分钟升五度.65度停10min.95度停30min-自然降至室温
5.曝光:500mJ/cm^2
6.曝後烤:(加热平板)2分钟升五度.65度停3min.95度停10min-自然降至室温
7.显影....@@"
---------------------------------------
以上是最近面临的困难
由於实验一直做不到所要的完美
因此使用的su8跟wafer几乎都是浪费
所以上此想请教板上的各位高手
大家在su8制程时是否有些小秘诀能传授
或者我的制程步骤是否出了问题?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.123.124.203
1F：推 LittleHwa:显影液用多一点吧，我之前用一缸去显影试片，会比用小的 06/12 14:56
2F：→ LittleHwa:结晶皿来的快速，图形也比较完整，至於显影完的显影液可 06/12 14:57
3F：→ LittleHwa:已回收在利用多次。 06/12 14:57
4F：→ LittleHwa:以 再 06/12 14:59
5F：推 LittleHwa:用塑胶光罩也可能有差，因为该挡光的地方不够挡光，不该 06/12 15:14
6F：→ LittleHwa:挡光的地方不够透明，加上塑胶光罩在遮罩边缘没有玻璃光 06/12 15:14
7F：→ LittleHwa:罩来的平整。 06/12 15:15
8F：推 Jinuse:楼上是SU-8达人耶 06/12 15:24
9F：推 Jinuse:只用食人鱼清洗的话 表面还是会有chemical oxide唷 06/12 15:28
10F：→ Jinuse:不确定这是不是原PO要的 06/12 15:28