作者edcu (沒有心的心)
看板NEMS
標題[問題] PDMS與矽晶圓
時間Sun Jun 7 14:47:26 2009
想請問一下，基材如果用的是矽晶圓的話，
有沒有什麼辦法或方式讓PDMS可以接合在
矽晶圓(包含正反兩面)上?
麻煩大家指導一下，感謝。
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◆ From: 123.192.170.74
1F：推 laknight:在液態的時候 直接淋上去 然後烤乾就可以了 06/07 16:54
2F：→ edcu:沒有說明清楚，因為PDMS上有流道，所以沒辦法在液態的時候直 06/07 20:01
3F：→ edcu:接淋上晶圓，必須在PDMS是固化狀態，不好意思>"< 06/07 20:02
4F：推 lockq:矽晶圓正面氧電漿打過加熱接合 反面矽力康直接黏 06/07 20:35
5F：推 Ice98:買雙面拋光wafer, 這樣就可以都用氧氣電漿接合了 06/08 16:06