作者edcu (没有心的心)
看板NEMS
标题[问题] PDMS与矽晶圆
时间Sun Jun 7 14:47:26 2009
想请问一下，基材如果用的是矽晶圆的话，
有没有什麽办法或方式让PDMS可以接合在
矽晶圆(包含正反两面)上?
麻烦大家指导一下，感谢。
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◆ From: 123.192.170.74
1F：推 laknight:在液态的时候 直接淋上去 然後烤乾就可以了 06/07 16:54
2F：→ edcu:没有说明清楚，因为PDMS上有流道，所以没办法在液态的时候直 06/07 20:01
3F：→ edcu:接淋上晶圆，必须在PDMS是固化状态，不好意思>"< 06/07 20:02
4F：推 lockq:矽晶圆正面氧电浆打过加热接合 反面矽力康直接黏 06/07 20:35
5F：推 Ice98:买双面抛光wafer, 这样就可以都用氧气电浆接合了 06/08 16:06