作者hitogo (我是土狗)
看板NEMS
標題[問題] RIE蝕刻SIO2參數
時間Sun May 31 21:26:48 2009
不知道板上有沒有大大知道 用RIE蝕刻SIO2的參數
我是在南微做的 本來裡面有內建的參數
可是之前機台壞掉後全部的參數就都不見了 而且也只剩手動模式了
我只要吃100nm SIO2而已
不知道 確切的功率及氣流要設多少
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.176.66
1F：推 Ice98:70W, CF4 50sccm 06/01 18:41