作者hitogo (我是土狗)
看板NEMS
标题[问题] RIE蚀刻SIO2参数
时间Sun May 31 21:26:48 2009
不知道板上有没有大大知道 用RIE蚀刻SIO2的参数
我是在南微做的 本来里面有内建的参数
可是之前机台坏掉後全部的参数就都不见了 而且也只剩手动模式了
我只要吃100nm SIO2而已
不知道 确切的功率及气流要设多少
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◆ From: 140.116.176.66
1F：推 Ice98:70W, CF4 50sccm 06/01 18:41