作者Nicholas0917 (哞)
看板NEMS
標題Re: [問題] lift 光阻去不掉
時間Wed May 27 00:36:03 2009
※ 引述《Ice98 (又寂寞又美好)》之銘言：
: ※ 引述《Nicholas0917 (哞)》之銘言：
: : 各位大大....我想請問一下
: : 我是用sputter鍍鋁 再去泡丙酮來lift-off
: : 可是都lift 不掉
: : 到底是有甚麼問題??
: : 我的device又不能拿去超音波震
: : 我用的光阻是AZ5214反轉
: : 而且以前都lift的掉
: : 就最近不行
: : 我把鋁的厚度降低也不行
: : 到底還有甚麼方法 急急急
: : 拜託了各位大大
: 1. 相較於e-beam, sputter的包覆性太好
: lift-off比較難是正常的
: 2. lift-off前面的黃光是不用硬烤的
: 或是做完黃光放太久, 光阻也會乾掉
: 最好是黃光做完馬上鍍金屬, 接著直接丟進丙酮再回去睡覺
: 隔天就可以直接收成啦!~
: 3. AZ5214受熱溫度太高形成片狀的話, 連丙酮都去不掉
: 建議用4620, 對溫度的忍受度較好, 厚度較厚也適合lift-off
: 4. 不能打超音波, 可以拿毛筆刷刷刷嗎? 禾斗 禾斗 禾斗
真的很感激這位大大的幫忙...救甘興耶
可是
1.這裡我只能用sputter....沒有e-beam(吐血)
2.我都沒硬烤阿...硬烤都會失敗
我的確都黃光做完直接去鍍,鍍完放到丙酮然後去睡覺...隔天驗收..結果-->(吐血x2)
3.我一定要用5214做反轉成負光阻,因為這裡沒負光阻(吐血x3)
4.毛筆..用過了...我的device會掛.....(e04 @#$%!)
我要寫個慘字~~~~~~~~~~救命阿~~~~~
我試過把鋁厚度降低--->失敗
上光阻前不塗HMDS--->失敗
用KOH或鋁蝕刻液去吃光阻或鋁,但會影響到我的device--->失敗中的失敗
請問還有別的方法可試嗎?????????????????????
曝光強度會影響嗎lift-off的結果嗎?
還是我家的丙酮不夠力?
還是有其他方法可以去光阻但是又不吃鋁?
大哥~~~救命阿
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◆ From: 140.110.119.183
1F：推 Jinuse:換個光罩用4620?? 05/27 00:44
2F：→ Nicholas0917:做一個新的光罩的時間可能會來不及ㄝ 05/27 00:48
3F：推 lightnsalt:試一試ST-22或NMP? 05/27 02:45
4F：推 Ice98:線寬多少? 如果>30um就直接做膠片光罩吧 05/27 03:06
5F：推 Ice98:能否請教"5214做反轉成負光阻"的細節? 以前沒有聽過 @.@a 05/27 03:12
6F：推 Ice98:剛查到了, 5214真是個有趣的東西 05/27 03:18
7F：→ Nicholas0917:線寬最小的有到1um.怎辦阿各位大哥?什麼是ST-22跟NMP 05/27 04:19
8F：→ Nicholas0917:忘了說.我在南科NDL做實驗,不是這裡供應的溶液,應該 05/27 04:50
9F：→ Nicholas0917:不能用!!!哈,條件好像越來越困難了 = =! 05/27 04:50
10F：推 briscowu:1.確認作sputter時溫度是否有超過光阻硬烤溫度 05/27 10:46
11F：→ briscowu:2.去南微用e-beam鍍 05/27 10:46
12F：推 vanll23:你要不要確認一下你的AZ圖形有沒有改變 汞燈強度變了顯影 05/27 18:17
13F：→ vanll23:的圖形也會有變化 05/27 18:17
14F：→ Nicholas0917:bri大,我問過工程師了,他說sputter最多不會超過60度 05/27 18:24
15F：→ Nicholas0917:所以目前也排除了sputter的溫度的問題! 05/27 18:25
16F：→ Nicholas0917:那去南微鍍e-beam,算一算要3000,要跟老闆討論一下(抖 05/27 18:27
17F：→ Nicholas0917:van大,顯影出來的圖型是正常的內,傷腦筋!!! 05/27 18:29
18F：→ Nicholas0917:如果我用熱蒸鍍呢?只是要開腔體一次補充鋁錠才能鍍到 05/27 20:12
19F：→ Nicholas0917:我要的厚度,這樣會不好嗎?可行嗎各位大哥? 05/27 20:12
20F：推 Ice98:thermal的溫升應該會比sputter高很多吧 05/27 22:04