作者Nicholas0917 (哞)
看板NEMS
标题Re: [问题] lift 光阻去不掉
时间Wed May 27 00:36:03 2009
※ 引述《Ice98 (又寂寞又美好)》之铭言：
: ※ 引述《Nicholas0917 (哞)》之铭言：
: : 各位大大....我想请问一下
: : 我是用sputter镀铝 再去泡丙酮来lift-off
: : 可是都lift 不掉
: : 到底是有甚麽问题??
: : 我的device又不能拿去超音波震
: : 我用的光阻是AZ5214反转
: : 而且以前都lift的掉
: : 就最近不行
: : 我把铝的厚度降低也不行
: : 到底还有甚麽方法 急急急
: : 拜托了各位大大
: 1. 相较於e-beam, sputter的包覆性太好
: lift-off比较难是正常的
: 2. lift-off前面的黄光是不用硬烤的
: 或是做完黄光放太久, 光阻也会乾掉
: 最好是黄光做完马上镀金属, 接着直接丢进丙酮再回去睡觉
: 隔天就可以直接收成啦!~
: 3. AZ5214受热温度太高形成片状的话, 连丙酮都去不掉
: 建议用4620, 对温度的忍受度较好, 厚度较厚也适合lift-off
: 4. 不能打超音波, 可以拿毛笔刷刷刷吗? 禾斗 禾斗 禾斗
真的很感激这位大大的帮忙...救甘兴耶
可是
1.这里我只能用sputter....没有e-beam(吐血)
2.我都没硬烤阿...硬烤都会失败
我的确都黄光做完直接去镀,镀完放到丙酮然後去睡觉...隔天验收..结果-->(吐血x2)
3.我一定要用5214做反转成负光阻,因为这里没负光阻(吐血x3)
4.毛笔..用过了...我的device会挂.....(e04 @#$%!)
我要写个惨字~~~~~~~~~~救命阿~~~~~
我试过把铝厚度降低--->失败
上光阻前不涂HMDS--->失败
用KOH或铝蚀刻液去吃光阻或铝,但会影响到我的device--->失败中的失败
请问还有别的方法可试吗?????????????????????
曝光强度会影响吗lift-off的结果吗?
还是我家的丙酮不够力?
还是有其他方法可以去光阻但是又不吃铝?
大哥~~~救命阿
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.110.119.183
1F：推 Jinuse:换个光罩用4620?? 05/27 00:44
2F：→ Nicholas0917:做一个新的光罩的时间可能会来不及ㄝ 05/27 00:48
3F：推 lightnsalt:试一试ST-22或NMP? 05/27 02:45
4F：推 Ice98:线宽多少? 如果>30um就直接做胶片光罩吧 05/27 03:06
5F：推 Ice98:能否请教"5214做反转成负光阻"的细节? 以前没有听过 @.@a 05/27 03:12
6F：推 Ice98:刚查到了, 5214真是个有趣的东西 05/27 03:18
7F：→ Nicholas0917:线宽最小的有到1um.怎办阿各位大哥?什麽是ST-22跟NMP 05/27 04:19
8F：→ Nicholas0917:忘了说.我在南科NDL做实验,不是这里供应的溶液,应该 05/27 04:50
9F：→ Nicholas0917:不能用!!!哈,条件好像越来越困难了 = =! 05/27 04:50
10F：推 briscowu:1.确认作sputter时温度是否有超过光阻硬烤温度 05/27 10:46
11F：→ briscowu:2.去南微用e-beam镀 05/27 10:46
12F：推 vanll23:你要不要确认一下你的AZ图形有没有改变 汞灯强度变了显影 05/27 18:17
13F：→ vanll23:的图形也会有变化 05/27 18:17
14F：→ Nicholas0917:bri大,我问过工程师了,他说sputter最多不会超过60度 05/27 18:24
15F：→ Nicholas0917:所以目前也排除了sputter的温度的问题! 05/27 18:25
16F：→ Nicholas0917:那去南微镀e-beam,算一算要3000,要跟老板讨论一下(抖 05/27 18:27
17F：→ Nicholas0917:van大,显影出来的图型是正常的内,伤脑筋!!! 05/27 18:29
18F：→ Nicholas0917:如果我用热蒸镀呢?只是要开腔体一次补充铝锭才能镀到 05/27 20:12
19F：→ Nicholas0917:我要的厚度,这样会不好吗?可行吗各位大哥? 05/27 20:12
20F：推 Ice98:thermal的温升应该会比sputter高很多吧 05/27 22:04