作者fotoa (乙)
看板NEMS
標題[問題] SU-8 Reflow 的問題
時間Wed May 20 15:26:47 2009
因為之前都用正光阻(AZ4620)，用熱回流作微透鏡，
在熱回流上，大致比Tg點高個10度就OK。
可是換成負光阻後，熱回流的情況變的很糟，幾乎不動。
想請問是不是負光阻沒有Reflow的現象？
又或是必須經過什麼處理？
感謝各位啦～
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 163.32.60.243
1F：推 wanttu:猜測你用到黏滯係數比較高的SU8 05/20 15:51
2F：推 Jinuse:reflow的時間點也很重要吧 SU8有相關的PAPER可以參考 05/20 15:54
3F：→ fotoa:黏度跟4620差不多 大概也是 500轉 20幾um 05/20 16:12
4F：推 lockq:負光阻沒有Reflow 曝光完的交聯就讓光阻固化了 05/20 22:40
5F：→ lockq: 就算有 也只是一點點點點點 05/20 22:40
6F：→ fotoa:我也這麼想過...可是PAPER卻真的有人作..很詭異.... 05/24 13:06
7F：推 Jinuse:曝後烤完才會交聯唷 05/25 13:28
8F：→ fotoa:reflow 就是要曝光顯影後 才烤 所以真的沒有reflow? 05/25 14:38