作者fotoa (乙)
看板NEMS
标题[问题] SU-8 Reflow 的问题
时间Wed May 20 15:26:47 2009
因为之前都用正光阻(AZ4620)，用热回流作微透镜，
在热回流上，大致比Tg点高个10度就OK。
可是换成负光阻後，热回流的情况变的很糟，几乎不动。
想请问是不是负光阻没有Reflow的现象？
又或是必须经过什麽处理？
感谢各位啦～
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 163.32.60.243
1F：推 wanttu:猜测你用到黏滞系数比较高的SU8 05/20 15:51
2F：推 Jinuse:reflow的时间点也很重要吧 SU8有相关的PAPER可以参考 05/20 15:54
3F：→ fotoa:黏度跟4620差不多 大概也是 500转 20几um 05/20 16:12
4F：推 lockq:负光阻没有Reflow 曝光完的交联就让光阻固化了 05/20 22:40
5F：→ lockq: 就算有 也只是一点点点点点 05/20 22:40
6F：→ fotoa:我也这麽想过...可是PAPER却真的有人作..很诡异.... 05/24 13:06
7F：推 Jinuse:曝後烤完才会交联唷 05/25 13:28
8F：→ fotoa:reflow 就是要曝光显影後 才烤 所以真的没有reflow? 05/25 14:38