作者daybin (書的第一頁)
看板NEMS
標題[問題] 請問HMDS要滴多少?
時間Mon May 18 03:44:58 2009
不好意思
不知道這種問題會不會很笨
但沒有學長和人可以問
網路上也沒有查到資料
只好上來求救
4''的si wafer要滴多少HMDS呢?
要用spin coater的
不是氣相的喔
感謝大家了
大概多少ml?
如果沒辦法量化
用模糊一點的描述或一個區間也可以
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 58.114.109.171
1F：→ bartmanz:氣相都2ml了... 用SPIN的要很少吧... < 0.1ml? 05/18 03:52
2F：推 Ice98:現在很少看到有人用spin coater在塗了 因為超毒的 05/18 13:58
3F：推 wanttu:沒處理好你就上電視了 05/18 17:24
4F：→ vanll23:整片都有就好 樓上太誇張了 05/18 18:06
5F：→ daybin:感謝大家的回答 謝謝 我會小心不上電視的 05/18 18:06
6F：→ fotoa:揮發很快 不用塗太多 塗完要快點轉開 不然會不見 05/19 08:56
7F：推 kuany:以前好像硬作 六千還八千轉忘了 但沒什麼用 05/19 23:19
8F：→ Jinuse:如果你的HMDS很多 那就滴多一點 HMDS很少就滴少一點 05/22 17:15
9F：→ Jinuse:有帶防毒面具的話就不會上電視囉 05/22 17:15
10F：推 cp2jp6:阿... 我也是有戴防毒面具~ 但是研究生戴的豬鼻子感覺就像 05/22 17:27
11F：→ cp2jp6:玩具板斗城買的玩具~~~ HMDS這麼毒~用這麼隨便的防毒面具 05/22 17:28
12F：→ cp2jp6:真的有用嗎??? 還是心理安慰... 05/22 17:28
13F：推 s75287:還是有過濾罐阿...別怕 記得要定期換就是了...XD 05/22 23:44
14F：→ pitoc:跟你同一間黃光室的其他人也有戴濾毒罐嘛? 05/26 00:16