作者daybin (书的第一页)
看板NEMS
标题[问题] 请问HMDS要滴多少?
时间Mon May 18 03:44:58 2009
不好意思
不知道这种问题会不会很笨
但没有学长和人可以问
网路上也没有查到资料
只好上来求救
4''的si wafer要滴多少HMDS呢?
要用spin coater的
不是气相的喔
感谢大家了
大概多少ml?
如果没办法量化
用模糊一点的描述或一个区间也可以
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 58.114.109.171
1F：→ bartmanz:气相都2ml了... 用SPIN的要很少吧... < 0.1ml? 05/18 03:52
2F：推 Ice98:现在很少看到有人用spin coater在涂了 因为超毒的 05/18 13:58
3F：推 wanttu:没处理好你就上电视了 05/18 17:24
4F：→ vanll23:整片都有就好 楼上太夸张了 05/18 18:06
5F：→ daybin:感谢大家的回答 谢谢 我会小心不上电视的 05/18 18:06
6F：→ fotoa:挥发很快 不用涂太多 涂完要快点转开 不然会不见 05/19 08:56
7F：推 kuany:以前好像硬作 六千还八千转忘了 但没什麽用 05/19 23:19
8F：→ Jinuse:如果你的HMDS很多 那就滴多一点 HMDS很少就滴少一点 05/22 17:15
9F：→ Jinuse:有带防毒面具的话就不会上电视罗 05/22 17:15
10F：推 cp2jp6:阿... 我也是有戴防毒面具~ 但是研究生戴的猪鼻子感觉就像 05/22 17:27
11F：→ cp2jp6:玩具板斗城买的玩具~~~ HMDS这麽毒~用这麽随便的防毒面具 05/22 17:28
12F：→ cp2jp6:真的有用吗??? 还是心理安慰... 05/22 17:28
13F：推 s75287:还是有过滤罐阿...别怕 记得要定期换就是了...XD 05/22 23:44
14F：→ pitoc:跟你同一间黄光室的其他人也有戴滤毒罐嘛? 05/26 00:16