作者newbrain (matlab=中學數學)
看板NEMS
標題[問題] 想請問北微的SF6蝕刻各種材料的速率
時間Sun May 3 23:48:58 2009
想請問一下有在使用台大北區奈米微機電中心RIE的使用者們
中心裡面純SF6蝕刻 Si 跟 普通PR 的速率 以及相關的製程參數，例如流量 氣壓 功率等
非常感謝!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 61.228.103.160
1F：→ onlyfriend:這種參數 每台機台每個sample試出來都不一樣 05/04 07:57
2F：→ onlyfriend:而且光試一個recipe 可能是別人花了很多時間的結果 05/04 07:57
3F：→ onlyfriend:為何自己不花時間去試參數? 更何況這paper也查得到 05/04 07:57
4F：推 paullai:推一下北微...XD (沒想到PTT上好多北微人) 05/04 12:30
5F：→ newbrain:我也希望可以自已試參數啊，可是老師現在預算很緊... 05/06 17:48
6F：→ newbrain:要我們做實驗又一直喊沒錢真的是很無言 05/06 17:48