作者newbrain (matlab=中学数学)
看板NEMS
标题[问题] 想请问北微的SF6蚀刻各种材料的速率
时间Sun May 3 23:48:58 2009
想请问一下有在使用台大北区奈米微机电中心RIE的使用者们
中心里面纯SF6蚀刻 Si 跟 普通PR 的速率 以及相关的制程参数，例如流量 气压 功率等
非常感谢!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 61.228.103.160
1F：→ onlyfriend:这种参数 每台机台每个sample试出来都不一样 05/04 07:57
2F：→ onlyfriend:而且光试一个recipe 可能是别人花了很多时间的结果 05/04 07:57
3F：→ onlyfriend:为何自己不花时间去试参数? 更何况这paper也查得到 05/04 07:57
4F：推 paullai:推一下北微...XD (没想到PTT上好多北微人) 05/04 12:30
5F：→ newbrain:我也希望可以自已试参数啊，可是老师现在预算很紧... 05/06 17:48
6F：→ newbrain:要我们做实验又一直喊没钱真的是很无言 05/06 17:48