作者newbrain (matlab=中學數學)
看板NEMS
標題[問題] 不知道台北哪邊有RIE機台有CHF3的氣體?
時間Wed Apr 29 23:38:28 2009
求救一下
我想蝕刻SiO2的速率大於silicon
目前知道只有 CHF3 跟 C3F6 or C4F8這些類型的氣體可以做到
不知道哪邊有這種機台可以使用
先謝過了
一個挫咧等的準畢業生 哭哭
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 61.228.108.68
1F：推 lockq:北區微機電中心的RIE有CHF3 04/30 01:05
2F：→ lockq:不確定是否停用 有下去做實驗再幫你看看 04/30 01:05
3F：→ mises:現在應該是台大奈米機電系統研究中心 04/30 08:35
4F：推 raincity:樓上大大是高手耶 05/01 08:36
5F：→ raincity:慢了一分鐘，一樓正妹你好 05/01 08:37
6F：→ newbrain:謝謝各位 可惜那邊好像停用了 Orz 05/03 23:51