作者newbrain (matlab=中学数学)
看板NEMS
标题[问题] 不知道台北哪边有RIE机台有CHF3的气体?
时间Wed Apr 29 23:38:28 2009
求救一下
我想蚀刻SiO2的速率大於silicon
目前知道只有 CHF3 跟 C3F6 or C4F8这些类型的气体可以做到
不知道哪边有这种机台可以使用
先谢过了
一个挫咧等的准毕业生 哭哭
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 61.228.108.68
1F：推 lockq:北区微机电中心的RIE有CHF3 04/30 01:05
2F：→ lockq:不确定是否停用 有下去做实验再帮你看看 04/30 01:05
3F：→ mises:现在应该是台大奈米机电系统研究中心 04/30 08:35
4F：推 raincity:楼上大大是高手耶 05/01 08:36
5F：→ raincity:慢了一分钟，一楼正妹你好 05/01 08:37
6F：→ newbrain:谢谢各位 可惜那边好像停用了 Orz 05/03 23:51