作者er2 (TEM topic)
看板NEMS
標題[問題] KOH etch 多晶矽
時間Thu Apr 23 00:38:52 2009
想請問各位
KOH蝕刻多晶矽之操作溫度大約在幾度
以及多少濃度之蝕刻率大概多少
感謝各位
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 61.228.206.26
1F：→ vagary: google一下, 會有很多資料 04/25 13:27
2F：推 forceout:80度 20% 1.8um~2um/min 05/05 01:18