作者er2 (TEM topic)
看板NEMS
标题[问题] KOH etch 多晶矽
时间Thu Apr 23 00:38:52 2009
想请问各位
KOH蚀刻多晶矽之操作温度大约在几度
以及多少浓度之蚀刻率大概多少
感谢各位
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 61.228.206.26
1F：→ vagary: google一下, 会有很多资料 04/25 13:27
2F：推 forceout:80度 20% 1.8um~2um/min 05/05 01:18