作者lovingqoo (~橘仔~)
看板NEMS
標題[問題] 光敏光阻=>對於不同角度入射光
時間Wed Apr 15 01:34:59 2009
想請問各位大大是否有一種光敏材料
我用不同角度的照射光可以獲得不同外型的光阻
大約如下圖@@
入射光
↘↘
◢◢◢◢◢◢◢◢ →光敏材料
→基板
就是藉由入射光角度不同，可以獲得不同三角形狀的光阻@@
麻煩各位大大幫忙了
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 115.43.228.71
1F：→ lexjiang:我做這個有一段時間了, 要達到"理想"的三角型,是不可能的 04/15 10:31
2F：→ lexjiang:只能以光罩,用位移的方式去曝光,得到一SAW狀的"三角型" 04/15 10:31
3F：→ lexjiang:當然, 有其他方法的話, 大家也可以提供 04/15 10:32
4F：推 lockq:可以提供一下光阻名跟廠商嗎 謝謝樓上跟原PO先 04/15 11:40
5F：推 ybchen:這種概念要成功 必須光阻是有很高的吸收率 不過一般光阻為 04/15 11:54
6F：→ ybchen:了能夠上下層結構均勻 通常不會有太高的吸收係數 所以這種 04/15 11:55
7F：→ ybchen:方式不太容易成功 建議灰階光罩可行性較高 04/15 11:56
9F：→ lovingqoo:感謝大家 灰階光罩有考慮過 但想看看是否其他可行性方法 04/15 13:21
10F：推 forceout:斜曝 04/15 16:52
11F：→ lovingqoo:請教樓上斜曝可以成功?? 光阻是哪一款?? 有注意地方?? 04/15 20:06
12F：→ lexjiang:斜曝不可能 04/15 20:15