作者lovingqoo (~橘仔~)
看板NEMS
标题[问题] 光敏光阻=>对於不同角度入射光
时间Wed Apr 15 01:34:59 2009
想请问各位大大是否有一种光敏材料
我用不同角度的照射光可以获得不同外型的光阻
大约如下图@@
入射光
↘↘
◢◢◢◢◢◢◢◢ →光敏材料
→基板
就是藉由入射光角度不同，可以获得不同三角形状的光阻@@
麻烦各位大大帮忙了
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 115.43.228.71
1F：→ lexjiang:我做这个有一段时间了, 要达到"理想"的三角型,是不可能的 04/15 10:31
2F：→ lexjiang:只能以光罩,用位移的方式去曝光,得到一SAW状的"三角型" 04/15 10:31
3F：→ lexjiang:当然, 有其他方法的话, 大家也可以提供 04/15 10:32
4F：推 lockq:可以提供一下光阻名跟厂商吗 谢谢楼上跟原PO先 04/15 11:40
5F：推 ybchen:这种概念要成功 必须光阻是有很高的吸收率 不过一般光阻为 04/15 11:54
6F：→ ybchen:了能够上下层结构均匀 通常不会有太高的吸收系数 所以这种 04/15 11:55
7F：→ ybchen:方式不太容易成功 建议灰阶光罩可行性较高 04/15 11:56
9F：→ lovingqoo:感谢大家 灰阶光罩有考虑过 但想看看是否其他可行性方法 04/15 13:21
10F：推 forceout:斜曝 04/15 16:52
11F：→ lovingqoo:请教楼上斜曝可以成功?? 光阻是哪一款?? 有注意地方?? 04/15 20:06
12F：→ lexjiang:斜曝不可能 04/15 20:15