作者aplasmaman (想愛~卻怕妳受傷害)
看板NEMS
標題[問題] 我該拿甚麼東西擋KOH?
時間Tue Apr 14 11:21:23 2009
想請問大家，如果我有個wafer，
正面有電極、壓電薄膜，
然後背面想要用KOH以氮化矽做擋罩來作背蝕刻，
然後正面的部分目前是使用壓克力+Oring來做保護。
但是我發現在拆這個夾具的時候，正面的電極跟壓電材料仍然有被強鹼傷害到的風險
所以想請過板友們，我要怎麼做才可以擋住KOH
在電極、壓電薄膜那面spin 光阻會有幫助嗎? 有的話是哪種光阻比較好?
謝謝各位~
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.38.83
1F：推 Ice98:一般光阻都擋不住KOH, SU8擋完之後又很難去除掉 04/14 16:48
2F：推 Ice98:如果你的電極材料不是Au的話, 可以考慮用Cr/Au去擋 04/14 16:54
3F：推 playbin:那可以KOH改用TMAH 04/14 23:32
4F：推 hungin:光阻也擋不住TMAH.. 04/16 02:23
5F：推 ybchen:如果是正光阻 本身顯影液就是強鹼類型 不曝光的話是可以撐 04/16 12:01
6F：→ ybchen:但是只是比較慢 還是會被攻擊 如果要泡很久就不適合了 04/16 12:01