作者aplasmaman (想爱~却怕你受伤害)
看板NEMS
标题[问题] 我该拿甚麽东西挡KOH?
时间Tue Apr 14 11:21:23 2009
想请问大家，如果我有个wafer，
正面有电极、压电薄膜，
然後背面想要用KOH以氮化矽做挡罩来作背蚀刻，
然後正面的部分目前是使用压克力+Oring来做保护。
但是我发现在拆这个夹具的时候，正面的电极跟压电材料仍然有被强硷伤害到的风险
所以想请过板友们，我要怎麽做才可以挡住KOH
在电极、压电薄膜那面spin 光阻会有帮助吗? 有的话是哪种光阻比较好?
谢谢各位~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.38.83
1F：推 Ice98:一般光阻都挡不住KOH, SU8挡完之後又很难去除掉 04/14 16:48
2F：推 Ice98:如果你的电极材料不是Au的话, 可以考虑用Cr/Au去挡 04/14 16:54
3F：推 playbin:那可以KOH改用TMAH 04/14 23:32
4F：推 hungin:光阻也挡不住TMAH.. 04/16 02:23
5F：推 ybchen:如果是正光阻 本身显影液就是强硷类型 不曝光的话是可以撑 04/16 12:01
6F：→ ybchen:但是只是比较慢 还是会被攻击 如果要泡很久就不适合了 04/16 12:01