作者oactioner (彈指間的愛情)
看板NEMS
標題Re: [問題] SU8與玻璃接合
時間Sun Apr 12 12:15:49 2009
http://research.ncku.edu.tw/re/articles/c/20090410/5
這個方法知不知道適不適合你的情況
應該可以
在兩塊玻璃上做SU8結購(各做25um) 然後在對位接合
或是直接改用JSR光阻 也可以直接熱壓接合 (sales說的 我本身沒試過)
也不需要黏著劑
※ 引述《cp2jp6 (大頭)》之銘言：
: 目前實驗遇到問題
: 想在玻璃與以做出SU8結構之表面進行接合
: 但不想破壞SU8結構原本的高度!50um!
: (意指黏著劑高度不能太高)
: 此外"黏著劑"只塗於SU8結構表面
: 而不是整片玻璃
: (也就說是只有SU8結構表面與玻璃接合
: 流道部分正上方之玻璃不殘留任何黏著劑)
: 請問該使用何種方法
: 才能完美的使結構跟玻璃接合
: 當注入微流體時不會導致漏水??
: 謝謝!
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◆ From: 140.116.179.77
1F：推 cp2jp6:酷~我就在等這種答案~~~ 我改天試試看...!! 謝謝意見!! 04/12 12:40
2F：推 cp2jp6:之前有再討論su8是否能用氧電漿接合~~~ 04/12 12:44
3F：→ cp2jp6:但是有可能我們研究室氧電漿power不足~所以沒有成功!! 04/12 12:44
4F：推 Jinuse:那他的元件尺寸跟光阻均勻度可能要考慮唷 因為他說要不漏水 04/12 17:26
5F：→ Jinuse:如果SU8構造簡單的話 可以考慮用沾的 就是用transfer layer 04/12 17:27
6F：推 Ice98:受教了!~ 原來SU-8也能氧氣電漿接合ㄚ 04/12 21:28
7F：推 cp2jp6:於文獻中是在su8內添加表面活化劑... 才使su8結構受氧電漿 04/13 21:27
8F：→ cp2jp6:影響於表面產生OH鍵結.普通su8是無法直接用氧電漿bonding的 04/13 21:29
9F：推 LittleHwa:但是如果不添加界面活性劑，效果會很不佳喔。 06/12 14:49