作者oactioner (弹指间的爱情)
看板NEMS
标题Re: [问题] SU8与玻璃接合
时间Sun Apr 12 12:15:49 2009
http://research.ncku.edu.tw/re/articles/c/20090410/5
这个方法知不知道适不适合你的情况
应该可以
在两块玻璃上做SU8结购(各做25um) 然後在对位接合
或是直接改用JSR光阻 也可以直接热压接合 (sales说的 我本身没试过)
也不需要黏着剂
※ 引述《cp2jp6 (大头)》之铭言：
: 目前实验遇到问题
: 想在玻璃与以做出SU8结构之表面进行接合
: 但不想破坏SU8结构原本的高度!50um!
: (意指黏着剂高度不能太高)
: 此外"黏着剂"只涂於SU8结构表面
: 而不是整片玻璃
: (也就说是只有SU8结构表面与玻璃接合
: 流道部分正上方之玻璃不残留任何黏着剂)
: 请问该使用何种方法
: 才能完美的使结构跟玻璃接合
: 当注入微流体时不会导致漏水??
: 谢谢!
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◆ From: 140.116.179.77
1F：推 cp2jp6:酷~我就在等这种答案~~~ 我改天试试看...!! 谢谢意见!! 04/12 12:40
2F：推 cp2jp6:之前有再讨论su8是否能用氧电浆接合~~~ 04/12 12:44
3F：→ cp2jp6:但是有可能我们研究室氧电浆power不足~所以没有成功!! 04/12 12:44
4F：推 Jinuse:那他的元件尺寸跟光阻均匀度可能要考虑唷 因为他说要不漏水 04/12 17:26
5F：→ Jinuse:如果SU8构造简单的话 可以考虑用沾的 就是用transfer layer 04/12 17:27
6F：推 Ice98:受教了!~ 原来SU-8也能氧气电浆接合ㄚ 04/12 21:28
7F：推 cp2jp6:於文献中是在su8内添加表面活化剂... 才使su8结构受氧电浆 04/13 21:27
8F：→ cp2jp6:影响於表面产生OH键结.普通su8是无法直接用氧电浆bonding的 04/13 21:29
9F：推 LittleHwa:但是如果不添加界面活性剂，效果会很不佳喔。 06/12 14:49