作者cp2jp6 (大頭)
看板NEMS
標題[問題] SU8與玻璃接合
時間Wed Apr 8 12:17:50 2009
目前實驗遇到問題
想在玻璃與以做出SU8結構之表面進行接合
但不想破壞SU8結構原本的高度!50um!
(意指黏著劑高度不能太高)
此外"黏著劑"只塗於SU8結構表面
而不是整片玻璃
(也就說是只有SU8結構表面與玻璃接合
流道部分正上方之玻璃不殘留任何黏著劑)
請問該使用何種方法
才能完美的使結構跟玻璃接合
當注入微流體時不會導致漏水??
謝謝!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.123.124.203
1F：→ lightnsalt:一定要用SU8嗎？聽起來好像PDMS也可以。何不試試？ 04/08 14:04
2F：推 wanttu:陽極接合 04/09 11:52