作者cp2jp6 (大头)
看板NEMS
标题[问题] SU8与玻璃接合
时间Wed Apr 8 12:17:50 2009
目前实验遇到问题
想在玻璃与以做出SU8结构之表面进行接合
但不想破坏SU8结构原本的高度!50um!
(意指黏着剂高度不能太高)
此外"黏着剂"只涂於SU8结构表面
而不是整片玻璃
(也就说是只有SU8结构表面与玻璃接合
流道部分正上方之玻璃不残留任何黏着剂)
请问该使用何种方法
才能完美的使结构跟玻璃接合
当注入微流体时不会导致漏水??
谢谢!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.123.124.203
1F：→ lightnsalt:一定要用SU8吗？听起来好像PDMS也可以。何不试试？ 04/08 14:04
2F：推 wanttu:阳极接合 04/09 11:52