作者ken9110 (小蝙蝠)
看板NEMS
標題[問題] 薄膜應力
時間Thu Apr 2 11:14:33 2009
各位先進
我想請問一下
我有一個懸浮結構
他是一個Sio2-al-Sio2三明治結構
當它被釋放懸浮後
是不是不太會有像"純金屬"的懸浮結構有很大的翹區現象
請會的先進可以幫我解答OXIDE 跟AL 的薄膜應力方向跟翹區程度
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.124.33.113
1F:→ peanut2:三明治結構,通常就是為了解決梯度應力 04/02 21:35