作者ken9110 (小蝙蝠)
看板NEMS
标题[问题] 薄膜应力
时间Thu Apr 2 11:14:33 2009
各位先进
我想请问一下
我有一个悬浮结构
他是一个Sio2-al-Sio2三明治结构
当它被释放悬浮後
是不是不太会有像"纯金属"的悬浮结构有很大的翘区现象
请会的先进可以帮我解答OXIDE 跟AL 的薄膜应力方向跟翘区程度
谢谢
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◆ From: 140.124.33.113
1F：→ peanut2:三明治结构，通常就是为了解决梯度应力 04/02 21:35