作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
標題[問題] SU-8去除
時間Wed Apr 1 23:01:37 2009
今天整理實驗室時,
發現有很多做壞的SU-8模子,
想說把晶圓丟掉有點可惜,
不知有沒有蝕刻液可以讓SU-8脫落或腐蝕掉?
氫氟酸.KOH.食人魚或是王水這些東東有用嗎?
謝謝!~
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◆ From: 123.204.64.79
1F：推 Jinuse:亞太國際好像有說MicroChem出了新的stripper 可以去除SU8 04/02 00:18
2F：→ Jinuse:但是文章裡說的好像都沒有用 除非是基材UNDERCUT讓SU8脫落 04/02 00:19
3F：推 Timsteven:硫酸吧~ 04/02 00:32
4F：推 kuany:研磨 ? 04/02 08:45
5F：推 s75287:我上次做好的模子 想說用丙酮酒精清洗一下 丙酮下去就掉了 04/02 12:16
6F：→ s75287:不知道是不是我家的SU8比較爛...XD 04/02 12:16
7F：推 ybchen:曝光後的SU8好像只有他們的remover可以清乾淨 04/02 13:56
8F：→ ybchen:在他們官網雖然有人說可以用H2SO4 + H2O2 我試過不夠乾淨 04/02 13:57
9F：推 oactioner:H2SO4 + H2O2 加熱到180度煮過夜就會掉了或輕輕刮也掉 04/02 15:00
10F：→ Ice98:剛去試過了,王水不行,食人魚放到冷掉只吃掉一點點... 04/02 17:33
11F：→ ybchen:請問食人魚是? 04/02 21:42
12F：→ Ice98:Piranha 就是硫酸加雙氧水啦!~~ 04/02 22:41
13F：→ jamesII:食人魚 = Piranha = H2SO4 + H2O2 我試過3:1 SU8-300X會掉 04/02 22:44
14F：→ jamesII:有人回答了哈 Acetone會掉可能沒HB 試過180C 10mins可以擋 04/02 22:49
15F：推 Jinuse:我幫忙補充一下 SALES是跟我說他們之前的SU8 stripper是利 04/04 01:40
16F：→ Jinuse:用泡脹的方式除去SU8 但是在圖形比較小的地方常常會卡住 04/04 01:40
17F：→ Jinuse:現在出了一款可以用溶解的方式除去SU8 效果會比較好 供參考 04/04 01:41
18F：→ forquet:泡stripper只為了洗SU8經濟嗎？ 真的洗的乾淨？ 有HB不易 04/06 00:51
19F：→ forquet:不過倒是已經有不少可以做高深寬比又能脫膜的材料了 04/06 00:52
20F：推 vanll23:氧電漿!! 超好用的啦 瓦術開大一點 打一打就吃光光囉 04/06 12:07
21F：推 cp2jp6:丙酮泡一泡吧!!~~都拿去洗食人魚的話會弄出墨汁來(su8-50) 04/08 11:22