作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
标题[问题] SU-8去除
时间Wed Apr 1 23:01:37 2009
今天整理实验室时,
发现有很多做坏的SU-8模子,
想说把晶圆丢掉有点可惜,
不知有没有蚀刻液可以让SU-8脱落或腐蚀掉?
氢氟酸.KOH.食人鱼或是王水这些东东有用吗?
谢谢!~
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◆ From: 123.204.64.79
1F：推 Jinuse:亚太国际好像有说MicroChem出了新的stripper 可以去除SU8 04/02 00:18
2F：→ Jinuse:但是文章里说的好像都没有用 除非是基材UNDERCUT让SU8脱落 04/02 00:19
3F：推 Timsteven:硫酸吧~ 04/02 00:32
4F：推 kuany:研磨 ? 04/02 08:45
5F：推 s75287:我上次做好的模子 想说用丙酮酒精清洗一下 丙酮下去就掉了 04/02 12:16
6F：→ s75287:不知道是不是我家的SU8比较烂...XD 04/02 12:16
7F：推 ybchen:曝光後的SU8好像只有他们的remover可以清乾净 04/02 13:56
8F：→ ybchen:在他们官网虽然有人说可以用H2SO4 + H2O2 我试过不够乾净 04/02 13:57
9F：推 oactioner:H2SO4 + H2O2 加热到180度煮过夜就会掉了或轻轻刮也掉 04/02 15:00
10F：→ Ice98:刚去试过了,王水不行,食人鱼放到冷掉只吃掉一点点... 04/02 17:33
11F：→ ybchen:请问食人鱼是? 04/02 21:42
12F：→ Ice98:Piranha 就是硫酸加双氧水啦!~~ 04/02 22:41
13F：→ jamesII:食人鱼 = Piranha = H2SO4 + H2O2 我试过3:1 SU8-300X会掉 04/02 22:44
14F：→ jamesII:有人回答了哈 Acetone会掉可能没HB 试过180C 10mins可以挡 04/02 22:49
15F：推 Jinuse:我帮忙补充一下 SALES是跟我说他们之前的SU8 stripper是利 04/04 01:40
16F：→ Jinuse:用泡胀的方式除去SU8 但是在图形比较小的地方常常会卡住 04/04 01:40
17F：→ Jinuse:现在出了一款可以用溶解的方式除去SU8 效果会比较好 供参考 04/04 01:41
18F：→ forquet:泡stripper只为了洗SU8经济吗？ 真的洗的乾净？ 有HB不易 04/06 00:51
19F：→ forquet:不过倒是已经有不少可以做高深宽比又能脱膜的材料了 04/06 00:52
20F：推 vanll23:氧电浆!! 超好用的啦 瓦术开大一点 打一打就吃光光罗 04/06 12:07
21F：推 cp2jp6:丙酮泡一泡吧!!~~都拿去洗食人鱼的话会弄出墨汁来(su8-50) 04/08 11:22