作者newbrain (matlab=中學數學)
看板NEMS
標題[問題] Si的等向性 與 非等向性蝕刻
時間Sun Mar 22 22:25:16 2009
請問除了KOH以外
其它常見的蝕刻液都是等向性蝕刻?
例 HNO3 : NH4F : H2O
又 這種蝕刻液要倒哪個廢液桶啊??
不好意思 好像問了很多很常見的問題 呵呵
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◆ From: 61.228.112.243
1F：推 Ice98:這三個都是酸的 當然倒酸桶啦!~ 03/23 22:30
2F：→ newbrain:thank 樓上 03/26 01:00