作者newbrain (matlab=中学数学)
看板NEMS
标题[问题] Si的等向性 与 非等向性蚀刻
时间Sun Mar 22 22:25:16 2009
请问除了KOH以外
其它常见的蚀刻液都是等向性蚀刻?
例 HNO3 : NH4F : H2O
又 这种蚀刻液要倒哪个废液桶啊??
不好意思 好像问了很多很常见的问题 呵呵
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◆ From: 61.228.112.243
1F：推 Ice98:这三个都是酸的 当然倒酸桶啦!~ 03/23 22:30
2F：→ newbrain:thank 楼上 03/26 01:00