作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
標題[問題] 絕緣材料鍍膜
時間Thu Mar 5 01:19:38 2009
各位板友們好,
在此想向各位請教,
是否有什麼方法, 可以在Cr/Au導線上鍍一層絕緣層,
以防止靜電致動器pull-in後產生短路,
目前想到的是parylene coating,
但不知是否能將厚度控制在100nm以下?
還有, 鍍完Cr/Au的東西,
送進PECVD裡沉積oxide/nitride是否會出問題?
因為有聽學弟說過金屬送進去會不見 @.@
另外, 之前有聽說有人用e-beam蒸鍍SiO2,
不知是否有人做過這種製程?
謝謝!~
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◆ From: 123.204.120.163
※ 編輯: Ice98 來自: 123.204.120.163 (03/05 01:21)
1F：推 Jinuse:一般parylene的厚度好像是用量來決定的 應該有機會很薄唷 03/05 17:33
2F：推 Keelungman:我做過 10nm 以下 就蒸鍍鋁上去 用氧氣電漿氧化 03/05 17:34
3F：→ Jinuse:只是很難量吧 這種有彈性的薄膜對探針式的量測比較危險 03/05 17:34
4F：→ Jinuse:上次差點卡住針 03/05 17:35
5F：→ Jinuse:二樓的氧化鋁感覺很不錯的樣子 會有擴散的問題嗎? 03/05 17:35
6F：→ Ice98:二樓的方法聽起來可行性頗高呦!~ 03/05 19:55
7F：→ ctsimon:是可以用e-beam鍍sio2!如果沒有後續蝕刻製程的話!可以用! 03/05 21:54
8F：推 oactioner:請問e-beam鍍sio2 的靶材是什麼? 03/05 22:13
9F：推 namicha:我記得之前實驗室就是用PECVD鍍絕緣層 03/05 23:33
10F：推 tjime831:有可能不見,我有遇過類似情況..但把cr 鍍厚一點似乎就OK 03/06 09:46
11F：→ tjime831:至於氧化鋁會不會因為在release時,被SF6 orB.O.E給吃掉 ? 03/06 09:48
12F：推 hungin:倒不如在結構設計時先設計stoper防止pull-in的現象發生 03/09 19:08