作者bbturtle (嗯)
看板NEMS
標題[問題] 有關於蝕刻
時間Tue Nov 18 13:13:19 2008
查了很多paper可是查不到這個資料
想請問一下有人知道蝕刻Ni的配方嗎?
是蝕刻純金屬Ni 不是silicon nitride
困擾小弟已久，想請教各位mems高手
感恩
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.23.239
3F：推 Ice98:推樓上的!~ 11/18 22:51
4F：推 Ice98:通常不知道要用什麼蝕刻的材料, 我都用lift-off做 11/18 22:52
5F：推 dalaba99:硝酸就可以了 11/19 10:38
6F：→ bbturtle:感謝感謝! 11/19 22:52