作者bbturtle (嗯)
看板NEMS
标题[问题] 有关於蚀刻
时间Tue Nov 18 13:13:19 2008
查了很多paper可是查不到这个资料
想请问一下有人知道蚀刻Ni的配方吗?
是蚀刻纯金属Ni 不是silicon nitride
困扰小弟已久，想请教各位mems高手
感恩
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.23.239
3F：推 Ice98:推楼上的!~ 11/18 22:51
4F：推 Ice98:通常不知道要用什麽蚀刻的材料, 我都用lift-off做 11/18 22:52
5F：推 dalaba99:硝酸就可以了 11/19 10:38
6F：→ bbturtle:感谢感谢! 11/19 22:52