作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
標題[請益] 濺鍍鋁膜
時間Sat Nov 1 22:53:12 2008
我也有遇到相同的問題,
請問在sputter前, 是否一定要將鋁靶材拋光?
賣靶材的廠商有告訴我要clean,
但是不知道要怎麼處理
※ [本文轉錄自 Master_D 看板]
作者: app13 (QQ) 看板: Master_D
標題: [請益]濺鍍鋁膜
時間: Sat Oct 25 17:53:08 2008
最近需要濺鍍(sputter)鋁膜(厚度約50nm)
原先實驗室有一塊表面有變黑色的鋁靶，有用砂紙把它磨到表面變成有金屬光澤了
不過濺鍍的結果發現沒鍍上去
所以後來買了一塊新的鋁靶
但不論新舊鋁靶
每次濺鍍的功率都大概開80~100瓦，鍍了2~10分鐘，真空度也都有到10的-5次方
鍍了幾次仍然都沒鍍上去(即使是後來鍍到10分鐘的也是)
(有用電表量過完全沒電性，故認為沒有鋁膜濺鍍上去)
對於新的鋁靶，每次預鍍也都有10分鐘
但機台其他同學鍍其他的靶材都ok
實在是百思不得其解
煩請有經驗的各位不吝提供一些建議
謝謝大家!
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◆ From: 59.104.191.225
1F：推 eoi:RF or DC? 10/25 18:21
2F：推 nikenike:2~10min 時間是不夠的!!! 10/25 20:22
3F：推 konly:給樓上 就算時間不夠 每秒給你1A/s速率 鍍超過200A以上就看 10/25 21:04
4F：→ konly:的出來 因為Al的skin depth才100多A 透明玻璃都能看的出差異 10/25 21:05
5F：→ konly:建議還是無法確定有無鍍上 玻璃片放進去 就知道有沒有鍍上去 10/25 21:06
6F：→ konly:電表會量不到 有時候是膜太薄導為非連續性膜 電阻大之類的 10/25 21:07
7F：→ kto135:打AES?? 10/25 21:36
8F：推 survival1010:10min 鍍不到什麼吧 速率太快 品質會很差 10/25 22:40
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◆ From: 140.112.14.214
※ 編輯: Ice98 來自: 140.112.14.214 (11/01 22:57)
9F：推 ghostbb:應該是不須要拋光 以前我買一塊鋁靶沒拋直接鍍也是鍍的出 11/03 14:09
10F：→ ghostbb:再加上你說同學用別的靶就鍍的出來 有可能是膜太薄 11/03 14:11
11F：→ ghostbb:建議先加高功率或時間看看能不能讓膜厚一點 11/03 14:15
12F：→ ghostbb:並且用個東西把一部份基材擋住 再LOAD出看有什麼差別 11/03 14:16