作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
标题[请益] 溅镀铝膜
时间Sat Nov 1 22:53:12 2008
我也有遇到相同的问题,
请问在sputter前, 是否一定要将铝靶材抛光?
卖靶材的厂商有告诉我要clean,
但是不知道要怎麽处理
※ [本文转录自 Master_D 看板]
作者: app13 (QQ) 看板: Master_D
标题: [请益]溅镀铝膜
时间: Sat Oct 25 17:53:08 2008
最近需要溅镀(sputter)铝膜(厚度约50nm)
原先实验室有一块表面有变黑色的铝靶，有用砂纸把它磨到表面变成有金属光泽了
不过溅镀的结果发现没镀上去
所以後来买了一块新的铝靶
但不论新旧铝靶
每次溅镀的功率都大概开80~100瓦，镀了2~10分钟，真空度也都有到10的-5次方
镀了几次仍然都没镀上去(即使是後来镀到10分钟的也是)
(有用电表量过完全没电性，故认为没有铝膜溅镀上去)
对於新的铝靶，每次预镀也都有10分钟
但机台其他同学镀其他的靶材都ok
实在是百思不得其解
烦请有经验的各位不吝提供一些建议
谢谢大家!
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 59.104.191.225
1F：推 eoi:RF or DC? 10/25 18:21
2F：推 nikenike:2~10min 时间是不够的!!! 10/25 20:22
3F：推 konly:给楼上 就算时间不够 每秒给你1A/s速率 镀超过200A以上就看 10/25 21:04
4F：→ konly:的出来 因为Al的skin depth才100多A 透明玻璃都能看的出差异 10/25 21:05
5F：→ konly:建议还是无法确定有无镀上 玻璃片放进去 就知道有没有镀上去 10/25 21:06
6F：→ konly:电表会量不到 有时候是膜太薄导为非连续性膜 电阻大之类的 10/25 21:07
7F：→ kto135:打AES?? 10/25 21:36
8F：推 survival1010:10min 镀不到什麽吧 速率太快 品质会很差 10/25 22:40
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.14.214
※ 编辑: Ice98 来自: 140.112.14.214 (11/01 22:57)
9F：推 ghostbb:应该是不须要抛光 以前我买一块铝靶没抛直接镀也是镀的出 11/03 14:09
10F：→ ghostbb:再加上你说同学用别的靶就镀的出来 有可能是膜太薄 11/03 14:11
11F：→ ghostbb:建议先加高功率或时间看看能不能让膜厚一点 11/03 14:15
12F：→ ghostbb:并且用个东西把一部份基材挡住 再LOAD出看有什麽差别 11/03 14:16