作者divhexa (迎風)
看板NEMS
標題[問題] 請問金屬的殘留應力
時間Fri Sep 5 22:45:10 2008
小弟最近正在做微機電的模擬，做的是殘留應力這一塊
(因為只是專題生老師不給碰製程，所以若問了蠢問題請見諒@@")
我想問的是：金屬的殘留應力梯度在不同製程下，有可能會反過來嗎？
就是說一片金屬薄模在殘留應力的影響下有可能會向上(或向下)彎曲
但是有沒有可能同種金屬在不同製程下導致朝不同方向彎曲呢？
(即某金屬用A製程，結果會向上彎曲；用B製程會向下彎曲)
可能表達的不是很好 請見諒
對了，老師要我模擬的材料是金(Au)
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◆ From: 122.122.158.217
1F：推 savior:你可以先找一下Senturia的Microsystem Design這本書看看 09/06 00:53
2F：→ savior:裡面有提到薄膜的殘留應力的生成方式和估算方法 09/06 00:55
3F：推 tzjwinfcha:會的~你得到他了 09/06 02:52