作者divhexa (迎风)
看板NEMS
标题[问题] 请问金属的残留应力
时间Fri Sep 5 22:45:10 2008
小弟最近正在做微机电的模拟，做的是残留应力这一块
(因为只是专题生老师不给碰制程，所以若问了蠢问题请见谅@@")
我想问的是：金属的残留应力梯度在不同制程下，有可能会反过来吗？
就是说一片金属薄模在残留应力的影响下有可能会向上(或向下)弯曲
但是有没有可能同种金属在不同制程下导致朝不同方向弯曲呢？
(即某金属用A制程，结果会向上弯曲；用B制程会向下弯曲)
可能表达的不是很好 请见谅
对了，老师要我模拟的材料是金(Au)
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 122.122.158.217
1F：推 savior:你可以先找一下Senturia的Microsystem Design这本书看看 09/06 00:53
2F：→ savior:里面有提到薄膜的残留应力的生成方式和估算方法 09/06 00:55
3F：推 tzjwinfcha:会的~你得到他了 09/06 02:52