作者mcgrier (^^)
看板NEMS
標題[問題] KOH 問題
時間Sun Aug 24 23:55:20 2008
想要請問各位大大
如果在利用KOH蝕刻Silicon時
被部用什麼方法來阻擋比較好呢
例如我只要正面蝕刻 背面要擋住
之前試過oxide效果不好
nitride還沒試過 或者是還有其他方法呢
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◆ From: 220.131.99.174
1F：→ mrmp1103:Nitride應該沒問題，1um的厚度可以擋住500um wafer吃穿 08/25 01:01
2F：→ lightnsalt:有特別原因一定要用KOH嗎？用TMAH的話很薄的oxide就行 08/25 03:02