作者mcgrier (^^)
看板NEMS
标题[问题] KOH 问题
时间Sun Aug 24 23:55:20 2008
想要请问各位大大
如果在利用KOH蚀刻Silicon时
被部用什麽方法来阻挡比较好呢
例如我只要正面蚀刻 背面要挡住
之前试过oxide效果不好
nitride还没试过 或者是还有其他方法呢
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◆ From: 220.131.99.174
1F：→ mrmp1103:Nitride应该没问题，1um的厚度可以挡住500um wafer吃穿 08/25 01:01
2F：→ lightnsalt:有特别原因一定要用KOH吗？用TMAH的话很薄的oxide就行 08/25 03:02