作者fotoa (乙)
看板NEMS
標題[問題] ICP光阻烤焦~不知道有何建議可以避免...
時間Thu Jul 31 10:16:25 2008
使用的光阻是AZ4620，氣體為CF4，
可是已經將功率降到100Ｗ了，20min還是變成焦黑...
不知道有沒有什麼好建議，可以避免這情況
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.55.147
1F：推 Ice98:功率100W, 反射功率多少呢? 07/31 13:17
2F：→ fotoa:這點其實我不是很知道，因為是委託操作 07/31 15:39
3F：→ fotoa:上板50W 下板100W AZ4602 硬烤6小時 07/31 15:40
4F：→ fotoa:目前是打算將Ar gun全關起來看看 不知道會不會好點 07/31 15:41
5F：→ fotoa:更正 上板500W才對 08/01 10:41