作者fotoa (乙)
看板NEMS
标题[问题] ICP光阻烤焦~不知道有何建议可以避免...
时间Thu Jul 31 10:16:25 2008
使用的光阻是AZ4620，气体为CF4，
可是已经将功率降到100Ｗ了，20min还是变成焦黑...
不知道有没有什麽好建议，可以避免这情况
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.117.55.147
1F：推 Ice98:功率100W, 反射功率多少呢? 07/31 13:17
2F：→ fotoa:这点其实我不是很知道，因为是委托操作 07/31 15:39
3F：→ fotoa:上板50W 下板100W AZ4602 硬烤6小时 07/31 15:40
4F：→ fotoa:目前是打算将Ar gun全关起来看看 不知道会不会好点 07/31 15:41
5F：→ fotoa:更正 上板500W才对 08/01 10:41