作者SophieFluid (洋為中用)
看板NEMS
標題[問題]關於MEMS製程變異度資料
時間Sat Jul 19 15:06:15 2008
最近在做一些MEMS sensor性能模擬與分析，需要下列資料：
(1) silicon (crystal & poly) 線寬以及深度的uncertainty
(2) silicon (crystal & poly) 的材料特性uncertainty,包含
Young's modulus, Poisson ratio, density等
不知道版友們提否提供相關資訊（數據、paper或database website）
感激嘍～
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◆ From: 218.32.7.26
2F：推 Ice98:可以去找他的reference來看 07/19 15:30
3F：→ SophieFluid:那再請問，etching線寬的最低值一般是？um 07/19 22:07