作者Goosbe (P&P)
看板NEMS
標題[問題] PDMS 氧氣電漿接合 Parylene-C
時間Thu Jul 17 15:23:36 2008
各位大大好~
想請教一下，PDMS和ParyleneC 以氧氣電漿接合的參數。
之前學長有給我paper證明兩者是可以接合的。
我現在試過以25W電漿，200mTorr壓力下打90秒，再進行接合。
做完後，完全沒有結合的感覺，就可以很輕易的兩者撕開分離。
如果有大大做過這方面的研究或是管道請不吝分享。謝謝。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.14.214
1F：推 savior:有paper來源可以供參考嗎 據我所知只用O2 plasma應該沒用.. 07/17 16:22
2F：推 oactioner:這個參數 有試過pdms跟玻璃的接合狀況嗎? 07/17 17:33
3F：→ Goosbe:它是一篇APCOT 2008的Poster 因為我在網路上找不到直接連結 07/17 18:31
4F：→ Goosbe:所以需要的人可以給我信箱我寄給您就好 07/17 18:32
5F：→ Goosbe:我有試過，以此參數再同一機台不管是接合PDMS對PDMS 07/17 18:33
6F：→ Goosbe:或是PDMS對玻璃的接合狀況都很好。感謝上面兩位大大回應。 07/17 18:34
7F：推 Ice98:學弟好,我的參數跟你完全不一樣耶 XD 07/17 19:28
8F：推 Looming:有幾個點要小注意一下 1.PDMS表面的清潔 要很乾淨 07/18 11:35
9F：→ Looming:2編編要修乾淨 不然壓不上去 07/18 11:36
10F：推 ameba1221:看到parylene超級懷念的... 07/18 22:23