作者Goosbe (P&P)
看板NEMS
标题[问题] PDMS 氧气电浆接合 Parylene-C
时间Thu Jul 17 15:23:36 2008
各位大大好~
想请教一下，PDMS和ParyleneC 以氧气电浆接合的参数。
之前学长有给我paper证明两者是可以接合的。
我现在试过以25W电浆，200mTorr压力下打90秒，再进行接合。
做完後，完全没有结合的感觉，就可以很轻易的两者撕开分离。
如果有大大做过这方面的研究或是管道请不吝分享。谢谢。
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.14.214
1F：推 savior:有paper来源可以供参考吗 据我所知只用O2 plasma应该没用.. 07/17 16:22
2F：推 oactioner:这个参数 有试过pdms跟玻璃的接合状况吗? 07/17 17:33
3F：→ Goosbe:它是一篇APCOT 2008的Poster 因为我在网路上找不到直接连结 07/17 18:31
4F：→ Goosbe:所以需要的人可以给我信箱我寄给您就好 07/17 18:32
5F：→ Goosbe:我有试过，以此参数再同一机台不管是接合PDMS对PDMS 07/17 18:33
6F：→ Goosbe:或是PDMS对玻璃的接合状况都很好。感谢上面两位大大回应。 07/17 18:34
7F：推 Ice98:学弟好,我的参数跟你完全不一样耶 XD 07/17 19:28
8F：推 Looming:有几个点要小注意一下 1.PDMS表面的清洁 要很乾净 07/18 11:35
9F：→ Looming:2编编要修乾净 不然压不上去 07/18 11:36
10F：推 ameba1221:看到parylene超级怀念的... 07/18 22:23