再po一篇讓討論持續 雖然我自己不是做這一塊的 :p 我的觀察是關於RF MEMS resonator大部分的研究在兩個會議上可以看到最新進展 1. IEEE MEMS的RF MEMS session 2. IEEE International Frequency Control Symposium 而商業化上 目前最受關注的應該就是SiTime跟Discera這兩家公司 有板友可以分享一下他們的近況嗎? ※ 引述《july ()》之銘言： : 之前答應版友divhexa稍微介紹一下SAW在RF MEMS上的應用... : 既然要介紹一下RF MEMS的話，小弟只好現醜一下... : 稍微講一下目前RF MEMS在Resonators和Filters的研究團隊和研究方式 : 當然RF MEMS的範疇不只有震盪器和濾波器而已， : Switches 和 電容、電感應該也可以算在RF MEMS裡面吧？！ : SAW (Surface Acoustic Waves) : 主要是靠IDT(Interdigital Transducers)在壓電材料表面上激發出表面聲波 : 靠特定IDT的pitch激發出特定波長的表面聲波 : 進而達到震盪器和濾波器的效果... : 一般而言，震盪器至少需要一組IDT，而濾波器則至少需要兩組IDT : SAW的研究應該還是以日本的研究團隊為主 : SAW研究團隊 : 台大應用力學所、成大電機所、義守電機所 : University of Central Florida (Prof. Donald Malocha) : Chiba University (Prof. Ken-ya Hashimoto) : University of Tokyo (Prof. Higuchi and Prof. Yamamoto) : BAW (Bulk Acoustic Waves) : BAW Resonators 主要分為兩種激發方式的震盪器， : 震盪頻率主要由壓電薄膜的厚度來定義.. : 一種是FBAR(Thin Film Bulk Acoustic Resonators) : 一種是SMR(Solidly Mounted Resonators) : BAW研究團隊 : FBAR : Avago Technologies (Dr. Richard Ruby) : University of Southern California (Prof. Eun Sok Kim) : SMR : TFR Technologies (Dr. K.M. Lakin) : Piezoelectric Contour-Mode Resonators : 這也是和FBAR一樣，利用上下電極激發壓電效應所產生的另一種模態， : 好處就是震盪頻率不會受控於壓電薄膜厚度 : 進而可以在同一片Chip達到multi-frequencies的效果 : Piezoelectric Contour-Mode Resonators 研究團隊 : University Pennsylvania (Prof. Gianluca Piazza) : Georgia Institute of Technology (Prof. Farrokh Ayazi) : University of California at Berkeley (Prof. Albert P. Pisano) : Stanford University (Prof. Thomas W. Kenny) : Static (Contour-Mode) Resonators : 在結構的兩側利用靜電效應所產生的模態， : 好處和上述一樣，其震盪頻率不會受控於結構厚度 : 進而可以在同一片Chip達到multi-frequencies的效果 : Static Contour-Mode Resonators研究團隊 : 清大奈米工程與微系統所 (Prof. Sheng-Shian Li) : University of California at Berkeley (Prof. Clark T.-C. Nguyen) : Cornell University (Prof. Sunil Bhave) : Carnegie Mellon University (Prof. Gary K. Fedder) : Nano-Resonators : 另外，還有一些團隊利用奈米探管作為震盪器的應用 : California Institute of Technology (Prof. Michael Roukes) : Georgia Institute of Technology (Professor Zhong Lin Wang) : Columbia University (Prof. James Hone) : University of California at Santa Barbara (Prof. Andrew Cleland) : Cornell University (Prof. H. G. Craighead) --

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