再po一篇让讨论持续 虽然我自己不是做这一块的 :p 我的观察是关於RF MEMS resonator大部分的研究在两个会议上可以看到最新进展 1. IEEE MEMS的RF MEMS session 2. IEEE International Frequency Control Symposium 而商业化上 目前最受关注的应该就是SiTime跟Discera这两家公司 有板友可以分享一下他们的近况吗? ※ 引述《july ()》之铭言： : 之前答应版友divhexa稍微介绍一下SAW在RF MEMS上的应用... : 既然要介绍一下RF MEMS的话，小弟只好现丑一下... : 稍微讲一下目前RF MEMS在Resonators和Filters的研究团队和研究方式 : 当然RF MEMS的范畴不只有震荡器和滤波器而已， : Switches 和 电容、电感应该也可以算在RF MEMS里面吧？！ : SAW (Surface Acoustic Waves) : 主要是靠IDT(Interdigital Transducers)在压电材料表面上激发出表面声波 : 靠特定IDT的pitch激发出特定波长的表面声波 : 进而达到震荡器和滤波器的效果... : 一般而言，震荡器至少需要一组IDT，而滤波器则至少需要两组IDT : SAW的研究应该还是以日本的研究团队为主 : SAW研究团队 : 台大应用力学所、成大电机所、义守电机所 : University of Central Florida (Prof. Donald Malocha) : Chiba University (Prof. Ken-ya Hashimoto) : University of Tokyo (Prof. Higuchi and Prof. Yamamoto) : BAW (Bulk Acoustic Waves) : BAW Resonators 主要分为两种激发方式的震荡器， : 震荡频率主要由压电薄膜的厚度来定义.. : 一种是FBAR(Thin Film Bulk Acoustic Resonators) : 一种是SMR(Solidly Mounted Resonators) : BAW研究团队 : FBAR : Avago Technologies (Dr. Richard Ruby) : University of Southern California (Prof. Eun Sok Kim) : SMR : TFR Technologies (Dr. K.M. Lakin) : Piezoelectric Contour-Mode Resonators : 这也是和FBAR一样，利用上下电极激发压电效应所产生的另一种模态， : 好处就是震荡频率不会受控於压电薄膜厚度 : 进而可以在同一片Chip达到multi-frequencies的效果 : Piezoelectric Contour-Mode Resonators 研究团队 : University Pennsylvania (Prof. Gianluca Piazza) : Georgia Institute of Technology (Prof. Farrokh Ayazi) : University of California at Berkeley (Prof. Albert P. Pisano) : Stanford University (Prof. Thomas W. Kenny) : Static (Contour-Mode) Resonators : 在结构的两侧利用静电效应所产生的模态， : 好处和上述一样，其震荡频率不会受控於结构厚度 : 进而可以在同一片Chip达到multi-frequencies的效果 : Static Contour-Mode Resonators研究团队 : 清大奈米工程与微系统所 (Prof. Sheng-Shian Li) : University of California at Berkeley (Prof. Clark T.-C. Nguyen) : Cornell University (Prof. Sunil Bhave) : Carnegie Mellon University (Prof. Gary K. Fedder) : Nano-Resonators : 另外，还有一些团队利用奈米探管作为震荡器的应用 : California Institute of Technology (Prof. Michael Roukes) : Georgia Institute of Technology (Professor Zhong Lin Wang) : Columbia University (Prof. James Hone) : University of California at Santa Barbara (Prof. Andrew Cleland) : Cornell University (Prof. H. G. Craighead) --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 71.137.241.119