之前答應版友divhexa稍微介紹一下SAW在RF MEMS上的應用... 既然要介紹一下RF MEMS的話，小弟只好現醜一下... 稍微講一下目前RF MEMS在Resonators和Filters的研究團隊和研究方式 當然RF MEMS的範疇不只有震盪器和濾波器而已， Switches 和 電容、電感應該也可以算在RF MEMS裡面吧？！ SAW (Surface Acoustic Waves) 主要是靠IDT(Interdigital Transducers)在壓電材料表面上激發出表面聲波 靠特定IDT的pitch激發出特定波長的表面聲波 進而達到震盪器和濾波器的效果... 一般而言，震盪器至少需要一組IDT，而濾波器則至少需要兩組IDT SAW的研究應該還是以日本的研究團隊為主 SAW研究團隊 台大應用力學所、成大電機所、義守電機所 University of Central Florida (Prof. Donald Malocha) Chiba University (Prof. Ken-ya Hashimoto) University of Tokyo (Prof. Higuchi and Prof. Yamamoto) BAW (Bulk Acoustic Waves) BAW Resonators 主要分為兩種激發方式的震盪器， 震盪頻率主要由壓電薄膜的厚度來定義.. 一種是FBAR(Thin Film Bulk Acoustic Resonators) 一種是SMR(Solidly Mounted Resonators) BAW研究團隊 FBAR Avago Technologies (Dr. Richard Ruby) University of Southern California (Prof. Eun Sok Kim) SMR TFR Technologies (Dr. K.M. Lakin) Piezoelectric Contour-Mode Resonators 這也是和FBAR一樣，利用上下電極激發壓電效應所產生的另一種模態， 好處就是震盪頻率不會受控於壓電薄膜厚度 進而可以在同一片Chip達到multi-frequencies的效果 Piezoelectric Contour-Mode Resonators 研究團隊 University Pennsylvania (Prof. Gianluca Piazza) Georgia Institute of Technology (Prof. Farrokh Ayazi) University of California at Berkeley (Prof. Albert P. Pisano) Stanford University (Prof. Thomas W. Kenny) Electrostatic (Contour-Mode) Resonators 在結構的兩側利用靜電效應所產生的模態， 好處和上述一樣，其震盪頻率不會受控於結構厚度 進而可以在同一片Chip達到multi-frequencies的效果 Electrostatic (Contour-Mode) Resonators研究團隊 清大奈米工程與微系統所 (Prof. Sheng-Shian Li) University of California at Berkeley (Prof. Clark T.-C. Nguyen) Cornell University (Prof. Sunil Bhave) Carnegie Mellon University (Prof. Gary K. Fedder) Nano-Resonators 另外，還有一些團隊利用奈米探管作為震盪器的應用 California Institute of Technology (Prof. Michael Roukes) Georgia Institute of Technology (Prof. Zhong Lin Wang) Columbia University (Prof. James Hone) University of California at Santa Barbara (Prof. Andrew Cleland) Cornell University (Prof. H. G. Craighead) --

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