之前答应版友divhexa稍微介绍一下SAW在RF MEMS上的应用... 既然要介绍一下RF MEMS的话，小弟只好现丑一下... 稍微讲一下目前RF MEMS在Resonators和Filters的研究团队和研究方式 当然RF MEMS的范畴不只有震荡器和滤波器而已， Switches 和 电容、电感应该也可以算在RF MEMS里面吧？！ SAW (Surface Acoustic Waves) 主要是靠IDT(Interdigital Transducers)在压电材料表面上激发出表面声波 靠特定IDT的pitch激发出特定波长的表面声波 进而达到震荡器和滤波器的效果... 一般而言，震荡器至少需要一组IDT，而滤波器则至少需要两组IDT SAW的研究应该还是以日本的研究团队为主 SAW研究团队 台大应用力学所、成大电机所、义守电机所 University of Central Florida (Prof. Donald Malocha) Chiba University (Prof. Ken-ya Hashimoto) University of Tokyo (Prof. Higuchi and Prof. Yamamoto) BAW (Bulk Acoustic Waves) BAW Resonators 主要分为两种激发方式的震荡器， 震荡频率主要由压电薄膜的厚度来定义.. 一种是FBAR(Thin Film Bulk Acoustic Resonators) 一种是SMR(Solidly Mounted Resonators) BAW研究团队 FBAR Avago Technologies (Dr. Richard Ruby) University of Southern California (Prof. Eun Sok Kim) SMR TFR Technologies (Dr. K.M. Lakin) Piezoelectric Contour-Mode Resonators 这也是和FBAR一样，利用上下电极激发压电效应所产生的另一种模态， 好处就是震荡频率不会受控於压电薄膜厚度 进而可以在同一片Chip达到multi-frequencies的效果 Piezoelectric Contour-Mode Resonators 研究团队 University Pennsylvania (Prof. Gianluca Piazza) Georgia Institute of Technology (Prof. Farrokh Ayazi) University of California at Berkeley (Prof. Albert P. Pisano) Stanford University (Prof. Thomas W. Kenny) Electrostatic (Contour-Mode) Resonators 在结构的两侧利用静电效应所产生的模态， 好处和上述一样，其震荡频率不会受控於结构厚度 进而可以在同一片Chip达到multi-frequencies的效果 Electrostatic (Contour-Mode) Resonators研究团队 清大奈米工程与微系统所 (Prof. Sheng-Shian Li) University of California at Berkeley (Prof. Clark T.-C. Nguyen) Cornell University (Prof. Sunil Bhave) Carnegie Mellon University (Prof. Gary K. Fedder) Nano-Resonators 另外，还有一些团队利用奈米探管作为震荡器的应用 California Institute of Technology (Prof. Michael Roukes) Georgia Institute of Technology (Prof. Zhong Lin Wang) Columbia University (Prof. James Hone) University of California at Santa Barbara (Prof. Andrew Cleland) Cornell University (Prof. H. G. Craighead) --

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