作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
標題[問題] Pyrex蝕刻與蒸鍍
時間Wed Jun 18 15:33:13 2008
各位高手們好,
我目前研究上想要用Si製作一個類似加速計的結構,
然後再把此結構用陽極接合的方式和Pyrex接在一起,
Pyrex上面有電極, 通電後產生pull-in的效果,
但是我並不希望結構直接接觸到電極,
所以需要做兩次的蝕刻, 架構如下圖:
▃▃▃▃▃▃▃▃ Si
█▅
▁▁ ▅█
Au
████████ Pyrex
現在比較擔心的是,如果用RIE或是HF來蝕刻凹槽,
表面是否可以平整? 蝕刻後的表面是否還可鍍上金屬?
不知是否有人做過類似的元件,可否給我一點建議,
謝謝!
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◆ From: 140.112.14.214
※ 編輯: Ice98 來自: 140.112.14.214 (06/18 15:35)
1F：推 rezenik:RIE後金屬應該可以鍍的上 HF吃會有波紋狀 會比較不平 06/18 16:15
2F：推 tzjwinfcha:玻璃經蝕刻後好像會不平喔 06/18 20:12
3F：→ tzjwinfcha:原本也是想做類似的結構，但被否決 06/18 20:12
4F：推 jace:有試試看BOE蝕刻時加一些酸(HCl等等)緩衝嗎? 06/19 14:54